为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将大连理工大学2025年9月政府采购意向公开如下：
| 化学气相沉积工艺交互式系统 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2025年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 化学气相沉积工艺交互式系统 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100699其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 ： |
化学气相沉积工艺交互式系统，包括等离子体化学气相沉积原理机1台和微波等离子体化学气相沉积工艺设备1台，以及正常使用所需外围条件。等离子体化学气相沉积原理机应包括：传输平台、等离子体系统、腔室系统、软件控制系统、安全模块；配备晶圆载台仿真加热，腔室带有加热模块，加热参数可设置；真空系统配备工业机械真空泵、皮拉尼真空规、电磁阀、放气阀；软件部分配备控制软件，可视化图形操作界面，能够模拟系统实时状态参数的显示；配有虚拟现实模块，包含自动和手动拆解功能，可还原设备外观和使用环境。微波等离子体化学气相沉积工艺设备，主要参数应满足：加热系统温控范围≤1600℃；频率范围：2495MHz±5MHz；输出功率范围：1-6kW连续可调；有效沉积区域：≥Φ150mm；配备气路≥6路；制氢机的制备纯度≥99.99999%，流量≥1000mL/min。提供运输、安装和售后服务。
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| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： |
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