一、项目编号：STC25A298（招标文件编号：STC25A298）
二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所高均匀低应力介质层沉积模块
三、中标（成交）信息
供应商名称：深圳市矢量科学仪器有限公司
供应商地址：深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
中标（成交）金额：444.5500000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 深圳市矢量科学仪器有限公司 | 高均匀低应力介质层沉积模块 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | Taurus i200PES | 1套 | 4445500 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
江国健、敬超、张涛、姚黎明、周民
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：100*1.5%+344.55*1.1%，由中标人支付。
本项目代理费总金额：5.290050 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
推荐理由：深圳市矢量科学仪器有限公司，综合得分89.63，报价最低，类似业绩最多，技术方案较为详细，汇总后，其综合得分最高，故推荐其为中标人。
各有关当事人如对中标结果有异议，请于本中标公告期限届满之日起7个工作日内以书面形式向上海中招招标有限公司（地址:上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室，邮编：200070，联系人：陈永亮，联系电话：18317094335，传真：021-66272917）提出质疑，并附相关证明资料，逾期将不再受理。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：上海市长宁区长宁路865号
联系方式：胡老师 021-62511070
2.采购代理机构信息
名 称：上海中招招标有限公司
地 址：上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室
联系方式：陈永亮、刘梦蝶 021-66285507、18317094335
3.项目联系方式
项目联系人：陈永亮
电 话： 021-66285507
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