为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将西安交通大学2025年7至12月政府采购意向公开如下：
| 匀胶曝光显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安交通大学2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安交通大学 |
| 采购项目名称： | 匀胶曝光显影系统 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02109900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
匀胶曝光显影系统核心功能包括通过高精度旋转涂胶系统在基片（硅片、玻璃等）表面均匀涂覆光刻胶，并基于预设程序（转速、时间、胶液流量）实现胶厚可控；在曝光阶段，通过紫外光源将掩膜版上的精密图案高精度转移至涂覆光刻胶的基片表面，支持硅片、玻璃及聚合物等多种材料；在显影阶段，通过精准的显影液喷淋、浸润及温度控制，溶解去除曝光或未曝光区域的光刻胶，形成高清晰度微纳图形，满足集成电路、MEMS及光学器件研发中对胶膜均匀性、显影精度及工艺稳定性的严苛要求。 项目包含：匀胶显影机1套和紫外曝光机1套。其中，匀胶显影机：涂胶模块、增粘模块、热板模块、冷板模块和显影模块各1套。紫外曝光机支持3/4/6英寸标准晶圆片。
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| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： |
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